I. 연구 동향
1. Lam Research
2. Applied Materials
3. 플라즈마 지능화 연구단
4. ETRI 지능화 연구
II. 특허 동향
1. 국내 출원 동향(출원 분야)
2. 국외 출원 동향(출원 분야)
III. 결론
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