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[정보통신산업진흥윈] 용액형 산화물 TFT 공정 기술 동향
테크포럼
2019-08-14 12:23:50

TFT-LCD가 각광받으면서 a-Si TFT에 대해 많은 연구가 이루어졌다. 2007년부터는 대형 OLED TV의 등장으로 고이동도를 특성으로 갖는 TFT가 요구되었으며, 이에 따라 이동도가 1에 미치지 못하는 a-Si의 재료적 특성으로 인해서 a-Si를 대체하기 위한 poly-Si 또는 산화물 등의 다양한 반도체 소재가 관심을 받고 있다. poly-Si TFT는 100cm2V-1S-1 정도의 고이동도를 가지는 디바이스로서 이미 중소형 디스플레이에 적용되고 있다. 하지만 결정립계(Grain Boundary)가 존재하기 때문에 이동도 불균일성으로 인해 대형 디스플레이의 백플레인(Backplane)으로 적용되기는 힘든 실정이다.

 

 

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